SNK施努卡
中型真空水平式等离子设备 （ SNK -180L， SNK -216L）
机台整机规格：180L：1400(W)×1720(H)×1050(D)mm216L：1450(W)×1720(H)×1150(D)mm真空室规格：180L：进···
产品描述
机台整机规格：
180L：1400(W)×1720(H)×1050(D)mm
216L：1450(W)×1720(H)×1150(D)mm
真空室规格：
180L：进口铝550(W)×680(H)×500(D)mm
216L：进口铝600(W)×600(H)×600(D)mm
电极板规格：
180L：10层平板电极（530(L)×400(W)mm）可定制
216L：10层平板电极（560(W)×500(D)mm）可定制
控制系统：触摸屏+PLC控制
真空测定系统：皮拉尼电阻式真空计
气体计量系统：精确质量流量控制计
气体路数：2路进气，1路放空
等离子发生器：10KW等离子体发生源，40KHz（可选13.56MHz）
工作气体：2路工作气体可选：Ar2、N2、H2、O2
特 点：高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持 。
用 途：适用于摄像头及行业，手机制造、半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车
电子行业，航空工业、PCB/FPC线路板领域等。
1、摄像头、指纹识别行业：软硬结合板的金PAD表面去氧化；IR表面清洗、清洁；
2、半导体IC领域：COB、COG、COF、ACF工艺，用于打线、焊接前的清洗 ；
3、硅胶、塑胶、聚合体领域：硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。