真空垂直式等离子清洗机（ SNK -H1300L）
机台整机规格：H1300L：2000(W)×1750(D)×2030(H) mm真空室规格：H1300L：1050(W)×1352（D)×920(H)电极板···
产品描述
机台整机规格：H1300L：2000(W)×1750(D)×2030(H) mm
真空室规格：H1300L：1050(W)×1352（D)×920(H)
电极板规格：H1300L：15层垂直式电极板(1150×660mm）
控制系统：触摸屏+PLC控制
真空测定系统：0-10 Torr电容式薄膜规真空计
气体计量系统：精确质量流量控制计
气体路数：4路进气，1路放空
等离子发生器：0-20KW等离子体发生源，40KHz
工作气体：2-5路工作气体可选：Ar2、N2、H2、O2、CF4
特 点：高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持
用 途：适用于摄像头及行业，手机制造、半导体IC领域，硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业，PCB/FPC等行业。
1、印制线路板行业：高频板表面活化，多层板表面清洁、去钻污；软板、软硬结合板表面清洁、去钻污；软板补强前活化 。
2、半导体IC领域：COB、COG、COF、ACF工艺，用于打线、焊接前的清洗 。
3、硅胶、塑胶、聚合体领域：硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化 ；
※ 高性能等离子发生器，激发更为稳定之等离子体；
※ 特殊电极结构，更适合宽幅双面材料进行等离子体表面处理；
※ 采用中通水冷电极，真正实现过程温度控制，均衡均一；
※ 具备上下料车，取代人工上下材料，上下料更加方便；
※ 变频节能，通过真空制自动调节变频器频率，自动调节真空泵转速维持真空度。