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RTR型真空等离子设备(RTR2000-W550 RTR2000L-W800H)

处理宽幅:RTR2000L-W550:100~800mm(水平电极)TR2000L-W800H:100~800mm(垂直电极)真空室规格:RTR2···

产品描述

处理宽幅:

RTR2000L-W550:100~800mm(水平电极) 

TR2000L-W800H:100~800mm(垂直电极)

真空室规格:

RTR2000L-W550:2000L(可定制)

RTR2000L-W800H:2000L(可定制)

控制系统:触摸屏+PLC控制

真空测定系统:皮拉尼真空计

气体计量系统:精确质量流量控制计

气体路数:标配2路工作气体,可扩展至5路工作气体

等离子发生器:20KW等离子体发生源,40KHz(可选13.56MHz)

工作气体:2-5路工作气体可选:Ar2、N2、H2、O2、CF4

特点:主要用于处理100~800mm宽幅之材料,结构简单可靠,配备张力和纠偏控制系统,上下料方便,可用于刻蚀工艺。

用   途:用于处理PE薄膜、芳纶、PET薄膜,聚酯薄膜,PI聚酰亚胺薄膜、FPC柔性线路板的真空卷对卷设备。  

※ 真空室内置张力控制系统,有效保护材料涨缩,使处理更加平稳;

※ 高性能等离子发生器,激发更为稳定之等离子体;

※ 特殊电极结构,更适合宽幅双面材料进行等离子体表面处理;

※ 采用中通水冷电极,真正实现过程温度控制,均衡均一;

※ 独特的卷曲设计,有效解决了卷式材料穿料问题,牵引材料更加便捷;

※ 变频节能,通过真空制自动调节变频器频率,自动调节真空泵转速维持真空度。